Công nghệ vì hệ thống cơ - điện tử ( Micro Electro - Mechanical System - CMEMS ) Canh cong nghe vì hệ thống cơ quang điện từ Ma Electro - Optical - Mechanical System - MEOMS ) đã được phát triển dựa trên công nghệ vi điện tử mà nó đã được ứng dụng thành công trong công nghệ chế tạo mạch điện tử tích hợp . Công nghệ vi điện tử sử dụng các kỳ thuật như tạo lớp chức năng ban đầu ( oxy hóa , khuếch tán , cây ion , ... ) , các kỹ thuật truyền mẫu ( quang khắc , ăn mòn , ... ) , công nghệ màng mỏng ( lắng đọng vật lý , lắng đọng hơi hóa học , tạo màng epitaxy ) , và các quá trình tích hợp để tạo ra các linh kiện vi điện tử như transistor , cổng logic , bộ nhớ , cảm biển anh , ... thường trên một lớp hoặc đã lớp . Công nghệ MEMS / MEOMS cũng sử dụng các thiết bị cơ bản tương tự như công nghệ vi điện tử . Tuy nhiên , các công nghệ này được phát triển thêm nữa cho chế tạo các linh kiện MEMS MEOMS , mà chúng thường có cấu trúc ba chiều và có cả thành phần tĩnh và chuyển động . Các linh kiện trong công nghệ MEMS / MEOMS thường có kích thước từ cỡ pm tới mm . Tuy vậy , ngày nay với sự phát triển của công nghệ chế tạo , các linh kiện MEMS / MEOMS đã đạt được các kích thước nhỏ hơn ở kích thước nano và công nghệ cho các linh kiện này gọi là công nghệ NEMS ( Nano Electro - Mechanical System ) / NEOMS ( Nano Electro - Optical - Mechanical System ) . MEMS / MEOMS là lĩnh vực đa ngành liên quan đến các lĩnh vực như : Vật lý , khoa học và kỹ thuật vật liệu , hóa học , kỹ thuật cơ , kỹ thuật điện và trí tuệ nhân tạo , ... Nhu cầu phát triển các linh kiện MEMS / MEOMS không những cho các ứng dụng trong công nghiệp , an ninh quốc phòng , thiết bị điện tử , và các thiết bị thông minh khác như in ba chiều và các linh kiện cho internet vạn vật ( IoT ) , ... Một số ví dụ điển hình như vi gương được sử dụng thương mại trong các máy chiếu , hiển thị hình ảnh bằng quét tia laze , tìm vật , hoặc điều khiển ôtô . Các cảm biến gia tốc ứng dụng trong điều khiển túi khí trong xe ôtô khi va chạm và các cảm biến ( con quay vi cơ ) đo vận tốc góc để điều khiến dẫn hướng tên lửa . Các ứng dụng này xuất phát từ những ưu điểm vượt trội của linh kiện
MEMS So với các linh kiện truyền thông có chức năng tương tự như khá năng tích hợp vì có kích thước nhỏ , hoạt động với công suất tiêu thụ tập và tốc độ đáp ứng nhanh . Công nghệ MEMS / MEOMS đặc biệt phát triển từ những năm 1980 đến nay , đặc biệt ở các nước có nên công nghiệp liên tiên như Mỹ , các nước châu Âu như Pháp , Đức , và các nước châu Á như Nhật Bản , Trung Quốc , Hàn Quốc , Đài Loan ( Trung Quốc ) , ... Tuy vậy , công nghệ này ở Việt Nam được bắt đầu từ những năm 2000 , đặc biệt công nghệ vi chế tạo được xây dựng lần đầu tiên trong nước tại Trường Đại học Bách khoa Hà Nội , Trường Đại học Bách khoa - Đại học Quốc gia TP . Hồ Ch Minh , Trường Đại học Khoa học Tự nhiên - Đại học Quốc gia Hà Nội .... Với nhu cầu phát triển như vậy , tác giả đã biên soạn cuốn sách chuyển khảo " Cảm biển và vi chấp hành vi hệ thống cơ - quang - điện tử " , tên tiếng anh là " MOEMS Sensors and Actuators ” để phục vụ cho các bạn sinh viên học viên cao học và nghiên cứu sinh trong các chuyên nghành : Vật lý kỳ thuật , khoa học và kỹ thuật vật liệu , cơ điện tử , kỹ thuật điện tử và tự động , quan tâm nghiên cứu chuyên sâu . Cuốn sách được viết dựa trên hiểu biết , kinh nghiệm giảng dạy và các kết quả nghiên cứu mà nhóm tác giả đã đạt được trong hơn 15 năm qua . Cuốn sách gồm 5 chương , nội dung sơ lược của các chương như sau :
 Chương 1 : Các cơ chế nhạy ứng dụng trong cảm biến MEMS / MEOMS
Chương 2 : Cảm biến vật lý MEMS / MEOMS Chương 3 : Các cơ chế chấp hành MEMS / MEOMS 
 Chương 4 : Các lò xo vi cơ được ứng dụng trong MEMS / MEOMS
 Chương 5 : Bộ vi dịch chuyển dựa trên chấp hành tĩnh điện